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太阳诚集团0638cc:同心圆齿环

来源:/product786127.html 发布时间:2021/11/22 14:46:14 返回列表

同心圆齿环

产品详情


  同心圆齿环的制取非常重要,每一样的产品分量都必须恰到好处,才能生产出好质量的同心圆齿环。

 。1)选用无烟煤70-90份,选取一种催化剂元素或其化合物5-10份,二氧化硅10-20份;

 。2)将各组分粉碎、混合均匀,放入压力机、升温升压;

 。3)将温度升值400℃-1000℃。压力10-50KPa;

 。4)保温10-40分钟,本方法直接用煤炭制造人造石墨从而制造同心圆齿环。工艺简练宜实施,产品比重略轻一些,性能没有任何逊色,切润滑性能较好。


  1、用于等离子体增强化学气相沉积法使用的PECVD石墨舟片、电极座、石墨螺丝、石墨螺帽。

  2、用于硅外延设备,表面SiC涂层的立式、盘式、单片式石墨基座,MOCVD制程用SiC涂层石墨基座。

  3、离子注入用石墨电极、衬块、石墨屏蔽罩等配件,等离子刻蚀用石墨电极,半导体封装制程用模具、高等级模板、治具。

  4、感应加热锗氧化物、区熔半导体材料、熔化高纯度金属的石墨坩埚、石墨舟皿及其配件,直拉锗与化合物单晶的高纯石墨加热器、保温罩等。

  5、蓝宝石HEM法生产中使用到的高纯度石墨加热器、石墨电极。

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