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太阳诚集团0638cc:发热盘模具

来源:/product790692.html 发布时间:2021/12/9 9:05:38 返回列表

发热盘模具

产品详情

  模具在现在的社会中运用的十分广泛,其发展前景十分广阔。

  发热盘模具:

 。1)导热及导电性能好;

 。2)在高温下,强度随温度升高而增大;

 。3)线膨胀系数低等很好的热稳定性能及抗加热冲击性;

 。4)具有良好的润滑和抗磨性;

 。5)多数金属不易发生反应;

 。6)易于加工,机械加工性能好,可以制作成形状复杂,精度高的模具。

  1、用于等离子体增强化学气相沉积法使用的PECVD石墨舟片、电极座、石墨螺丝、石墨螺帽。

  2、用于硅外延设备,表面SiC涂层的立式、盘式、单片式石墨基座,MOCVD制程用SiC涂层石墨基座。

  3、离子注入用石墨电极、衬块、石墨屏蔽罩等配件,等离子刻蚀用石墨电极,半导体封装制程用模具、高等级模板、治具。

  4、感应加热锗氧化物、区熔半导体材料、熔化高纯度金属的石墨坩埚、石墨舟皿及其配件,直拉锗与化合物单晶的高纯石墨加热器、保温罩等。

  5、蓝宝石HEM法生产中使用到的高纯度石墨加热器、石墨电极。

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