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太阳诚集团0638cc:电子烧结模具

来源:/product790693.html 发布时间:2021/12/9 9:09:52 返回列表

电子烧结模具

产品详情

  电子烧结模具应用于电子工业红,用石墨导电、导热特性,其导热、导电性能别于金属、具有随温度升高导热系数反而减。呶露认虏坏既、超高温,有可靠的隔热性。

  电子烧结模具要求纯度高,固定碳的含量大于85%,有害杂质含量小于1%。近年来高速铣削突破了传统铣削难以加工高硬、高强、高韧模具材料的限制。但电火花加工具有加工精度和表面质量高,可加工范围宽,特别是在复杂、精密、薄壁、窄缝、高硬材料的模具型腔加工的优势是高速铣削所不能比拟的,因此放电加工将仍然是模具型腔加工的主要手段。

  在现代工业生产中,产品零件广泛采用冲压、锻压成型、压铸成型、挤压成型或其他成形加工方法,与成形模具相配套,使坯料成形加工成符合产品要求的零件。

  1、用于等离子体增强化学气相沉积法使用的PECVD石墨舟片、电极座、石墨螺丝、石墨螺帽。

  2、用于硅外延设备,表面SiC涂层的立式、盘式、单片式石墨基座,MOCVD制程用SiC涂层石墨基座。

  3、离子注入用石墨电极、衬块、石墨屏蔽罩等配件,等离子刻蚀用石墨电极,半导体封装制程用模具、高等级模板、治具。

  4、感应加热锗氧化物、区熔半导体材料、熔化高纯度金属的石墨坩埚、石墨舟皿及其配件,直拉锗与化合物单晶的高纯石墨加热器、保温罩等。

  5、蓝宝石HEM法生产中使用到的高纯度石墨加热器、石墨电极。

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