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太阳诚集团0638cc:小口径石墨坩埚

来源:/product790710.html 发布时间:2021/12/9 9:32:54 返回列表

小口径石墨坩埚

产品详情

  小口径石墨坩埚运用更好的工业应用方式,这对于未来新兴工业的设计需求,众人更需要的正式崇尚工业精神的开始。

  石墨坩埚拥有体积密度大、耐高温、传热快、高温强度大等特点。因此,石墨坩埚在使用过程中难免会用来防止腐 蚀性物质。石墨坩埚对于个别原料的炼制,在坩埚使用以后的清理工作却很麻烦。

  石墨坩埚在加料的时候需要慢慢的加入,尽量加入的是碎料,且不能一次性加很多,石墨甘贵适用性较强,不受熔炼物质的限制。其有很多的优点,所以在冶金、铸造、化工等多个部分被使用,石墨坩埚在施工的时候需要保持清洁,还需要定期的清理熔渣、在清理时需要使用适当的工具避免损伤。

  小口径石墨坩埚内部有气孔,在使用之前需要先预热,这样才能排除内部的湿气。

  1、用于等离子体增强化学气相沉积法使用的PECVD石墨舟片、电极座、石墨螺丝、石墨螺帽。

  2、用于硅外延设备,表面SiC涂层的立式、盘式、单片式石墨基座,MOCVD制程用SiC涂层石墨基座。

  3、离子注入用石墨电极、衬块、石墨屏蔽罩等配件,等离子刻蚀用石墨电极,半导体封装制程用模具、高等级模板、治具。

  4、感应加热锗氧化物、区熔半导体材料、熔化高纯度金属的石墨坩埚、石墨舟皿及其配件,直拉锗与化合物单晶的高纯石墨加热器、保温罩等。

  5、蓝宝石HEM法生产中使用到的高纯度石墨加热器、石墨电极。

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